حساسه سنسور خورشيدي MEMS از جمله مهمترين بخش هاي سنسورهاي خورشيدي MEMS مورد استفاده در زير سيستم تعيين سمت فضاپيما مي باشد كه مبتني بر نور خورشيد كار مي كنند. يكي از مهمترين مزاياي اين طرح استفاده از فناوري MEMS براي ساخت ميباشد كه مزايايي چون قيمت پايينتر، قابليت اطمينان بالاتر (الزام مهم در طراحي سيستمهاي فضايي)، وزن كمتر (نكته كليدي در طراحي وسايل هوافضايي) و حساسيت بالاتر قطعات ساخته شده با اين فناوري ميباشد. در اين اختراع با توجه به اختلاف جريان توليدي در حساسه به دليل وجود پيوندهاي p-n و اثرات فوتوولتايي، ميتوان سمت وسيله را تعيين كرد. سنسورهاي مشابه موجود در دنيا تنها قادر به اندازه گيري زاويه در يك محور مي باشند كه با قرار دادن دو حساسه عمود بر يكديگر در يك صفحه ميتوان با استفاده از اين سنسورها زاويه را در دو محور اندازه گيري كرد. از نكات برجسته اين سنسور نسبت به نمونه هاي مشابه؛ توانايي اندازه گيري زوايا در راستاي دو محور تنها با استفاده از يك سنسور و نوع ساخت ميكروني، مواد به كار رفته و قابليت مجتمع شدن با بخش الكترونيك در يك بستر مي باشد. با استفاده از اين سنسور (داراي 3 حساسه و شيار خاص) ميتوان در دو محور زاويه را تشخيص داد. سنسور مكعبي شكل با ابعاد نهايي cm4.1×cm4.1× mm5 مي باشد كه ميدان ديدي در حدود 70 درجه دارد.