سيستم هاي ميكرو الكترومكانيكي (MEMS) و سيستم هاي مرتبط با آنها به دليل كاربردهاي روز افزون در صنايع مختلف از جمله پزشكي، شيمي، داروسازي و ... در دو دهه اخير بسيار مورد توجه دانشمندان و پژوهشگران قرار گرفته اند. يكي از مهمترين اجزاي اين سيستم ها، ميكروپمپ ها مي باشند. اين پمپ ها در تقسيم بندي كلي به دو دسته مكانيكي و غير مكانيكي تقسيم مي گردند. پمپ هاي غير مكانيكي به دليل عدم وجود قطعات متحرك در آنها و بالطبع بالا بودن قابليت اطمينان جايگاه ويژه اي در پروژه هاي تحقيقاتي و به خصوص در صنايع پزشكي پيدا نموده اند. ميكروپمپ همراه با تغيير فاز يكي از جديدترين اين پمپ ها مي باشد كه در آن از پديده تغيير فاز و تشكيل و از بين رفتن حبابها به عنوان محرك براي به حركت درآوردن سيال استفاده مي گردد. در اين پروژه، به منظور بررسي تجربي اين نوع ميكروپمپ ها و همچنين درك دقيق تراز پديده تغيير فاز و تشكيل و از بين رفتن حبابها، هدف اصلي طراحي، ساخت و تست يك نمونه از اين نوع پمپ قرار گرفته است. در طراحي انجام گرفته، ميكرو لوله اصلي سيستم با قطر داخلي 1/6 ميلي متر انتخاب گرديد و با تغيير دادن پارامترهاي هندسي سيستتم از جمله تعداد گرمكن هاي الكتريكي بكار رفته و فاصله آنها از يكديگر، تعداد 3 ميكرو لوله براي ميكروپمپ طراحي و ساخته گرديد. همچنين با طراحي و ساخت يك سيستم كنترلي، امكان تغيير و كنترل پارامترهاي الكتريكي سيستم از جمله توان ورودي و مدت زمان روشن بودن هر گرمكن و همچنين مدت زمان همپوشاني دو گرمكن مجاور با هم از طريق رايانه شخصي فراهم گرديد. از جمله قابليت هاي ميكروپمپ ساخته شده مي توان به موارد زير اشاره نمود. - قابليت پمپ نمودن سيالات اعم از خالص و يا مخلوط با ديگر مواد با دقت هاي كنترل دهي بسيار بالا (چندين ميكروليتر بر دقيقه) - قابليت تغيير دادن توان ورودي و زمان روشن بودن و همپوشاني گرمكن هاي ميكرولوله - امكان مشاهده و كنترل دقيق پديده تشكيل، گسترش و از بين رفتن حبابها - قابليت نسبتا دقيق اندازه گيري هد فشاري و دبي حجمي - پمپ نمودن سيالات بدون كاربرد اجزاء مكانيكي متحرك - كاركرد تحت ولتاژ پايين (5 تا 10 ولت) در پايان با تغيير پارامترهاي مزبور، سيستم تست گرديد و دبي حجمي و هد فشاري متناظر با هر حالت اندازه گيري شد. در پايان با تغيير پارامترهاي مزبور، سيستم تست گرديد و دبي حجمي و هدفشاري متناظر با هر حالت اندازه گيري شد. با توجه به آزمايشان مذكور ميزان دبي حجمي هد فشار بيشينه حاصل از عملكرد پمپ به ترتيب 236/5 ميكروليتر بر دقيقه و 11 ميلي متر آب (103 پاسكال) اندازه گيري گرديد.