لیست اختراعات محمود جلالي مهرآباد
روش سنتي لايه نشاني تبخير حرارتي، مبتني بر تبخير ماده از چشمه و انباشت آن بر روي زيرلايه است. مشكلات اساسي اين رويكرد عبارتند از: *لايه نشاني ناخواسته بر روي سطوحي غير از زير لايه در داخل محفظه. *عدم يكنواختي فيلم تشكيل شده بر روي زير لايه. *عدم امكان لايه نشاني در جهت هايي به جز مسير طبيعي شار بخار. *پايين بودن نرخ لايه نشاني. *طولاني بودن زمان لايه نشاني و هزينه ي بالا. در اين ميان ايده ي كنترل شار بخار فرودي به وسيله ي اعمال ميدان مغناطيسي خارجي و هدايت هدفمند آن بر سطح زيرلايه (يا سطوح مورد نظر ديگر)، مي تواند كمك شاياني در رشد هدفمند فيلم هاي نازك داشته باشد. به اين ترتيب نه تنها از رشد لايه هاي ناخواسته در داخل محفظه جلوگيري به عمل مي آيد، بلكه از مشكلات ديگري مانند كم بودن نرخ لايه نشاني، اتلاف ماده ي چشمه و هزينه ي اضافي و عدم يكنواختي فيلم نيز تا حد زيادي اجتناب ميگردد.
موارد یافت شده: 1