همانگونه كه در شكل 1 ملاحظه مي شود ساختمان ميكروهيترهاي رايج و موجود از قسمت هاي عايق كه از مواد اكسيد سيليكون و نيتريد سيليكون كه در زير قسمت هيتر نصب شده اند و براي كاهش اتلاف گرما بكار رفته اند تشكيل يافته است. به منظور جلوگيري از جنب گرما در عملكرد ناپايا و هدر رفتن آن معمولا لايه ي سابستريت (Substrate) را به شكل ذوزنقه خالي مي كنند. اين كار مستلزم زمان نسبتا زيادي در حين فرايند توليد است در ضمن تنش هاي مكانيكي و حرارتي باعث كاهش عمر مفيد ميكرو هيتر مي گردد. اين ميكرو هيتر امروزه جايگاه ويژه اي را در صنعت ميكرو و نانو به خود اختصاص داده اند و از جمله كاربردهاي بسيار رايج آنها كاربردشان در ميكروپمپهاي پرينترهاي جوهر افشان، ميكروپمپهاي صنعت خنك سازي در مقياس بسيار ريز، در صنايع پزشكي براي تزريق دقيق انسولين - DNA و صنايع خودروهاي آينده را مي توان نام برد. شكل 2 طرح ابداعي و شكل و ساختار اصلاح يافته ي ميكرو هيترهاي رايج را نشان مي دهد. در اين نوع هيترها به جاي خالي كردن فضاي قابل توجهي از SUBSTRATE مطابق شكل ميكرو حفره هايي را در آن ايجاد مي كنند. اين ميكرو هيترها با وجود ميكرو حفره ها قابليت خاصي پيدا مي كنند كه علاوه بر حل مشكل جلوگيري از هدر رفتن و اتلاف گرماي توليد شده در هيتر (كه خود موجب كاهش مصرف انرژي آن مي گردد) يكي از مشكلات اساسي ميكرو پمپ هايي كه با ميكرو حباب كار مي كنند را حل مي نمايد. اين ميكرو حفره ها امكان ايجاد هر پروفيل دماي مورد نظر را در روي هيتر به وجود مي آورند كه به كمك آن پروفيل دماي دلخواه مي توان محل تشكيل ميكرو حباب كه از جمله مشكلات اساسي ميكرو پمپ هاست، را تعيين نمود. همچنانكه از شكل ملاحظه مي شود پروفيل دما در روي هيترهاي معمولي يكنواخت است اين موضوع سبب مي شود كه ميكرو حباب احتمالا در هر نقطه اي كه روي هيتر مي تواند باشد ظاهر گردد و اين عملكرد ميكروپمپ را مختل مي نمايد. در حالي كه منحني بالايي كه توسط ميكروهيتر ابداعي بدست آمده است داراي يك نقطه ماكزيمم است كه الزاما محل تشكيل حباب آنجا خواهد بود. شكل 4 امكان ايجاد يك پروفيل دماي يكنواخت را به كمك ميكرو هيتر ابداعي نشان مي دهد. مي توان با استفاده از يك ميكرو حفره و با انتخاب گام مناسب براي آنها علاوه بر اينكه از هدر رفتن انرژي جلوگيري به عمل آورد از ايجاد يك پروفيل دماي يكنواخت (كه براي حسگرهاي گازي استفاده مي شوند) بهره برد. بطوريكه از شكل 5 ملاحظه مي گردد مي توان به كمك سه ميكرو حفره با گام هاي مناسب سه نقطه ماكزيمم دما را روي هيتر ايجاد نمود بطوريكه نقطه ماكزيمم وسطي داراي دماي نسبتا بالاتري است. اين سه ميكرو حفره علاوه بر جلوگيري از هدر رفتن گرماي توليد شده در هيتر كه باعث كاهش توان مصرفي ميكرو هيتر خواهد شد، مي شوند بلكه امكان ايجاد سه ميكرو حباب را در سه نقطه ي تعريف شده و كاملا معلوم را فراهم مي سازند. شكل 6 چگونگي ايجاد يك پروفيل دماي نامتقارن را با استفاده از هيتر ابداعي نشان مي دهد. در صورتي كه ميكرو حفره ها را در نقاط معيني از Substrate نصب گردند مي توان دو نقطه ماكزيمم دمايي با دماهاي مختلف را بدست آورد. اين قابليت بي نظير هيتر جديد امكان ايجاد دو ميكرو حباب با تاخير فاز را فراهم مي سازد بطوريكه مي توان آن را در نسل جديد ميكرو پمپ ها مورد استفاده قرار داد. در نسل جديد ميكرو پمپ ها اين عمل بكمك چند ميكرو هيتر مجزا صورت مي گيرد كه با تاخير فاز معين روشن و خاموش مي شوند. در حالي كه به كمك اين آرايه جديد با مصرف انرژي كمتر و بدون نياز به سيستمهاي كنترل رايج مي توان به عملكرد يكساني دست يافت.