يكي از مهم‌ترين بخش‌هاي يك ميكروسكوپ الكتروني روبشي منابع توليد الكترون هستند. اين منابع كه رزولوشن تصوير ميكروسكوپ را نيز تعيين مي‌كنند، به شكل‌هاي مختلف وجود دارند. ساده‌ترين نوع اين منابع يك سيم تنگستن موسوم به تفنگ كاتد حرارتي است. در اين منابع سيم آن قدر گرم شده تا شروع به تابش الكترون كند. اين منابع شبيه لامپ‌هاي رشته اي يا تنگستني هستند كه در اثر گرماي زياد نور تابش مي‌كنند. در واقع يك لامپ رشته اي در صورتي كه در محيط خلا روشن شود، شروع به تابش الكترون مي‌كند. نوع ديگر اين منابع كه به تفنگ گسيل ميداني شناخته مي‌شوند، سيمي از جنس تنگستن بوده كه يك نوك بسيار تيز در محدوده 100نانومتر دارند. الگوي نوك اين منابع به گو نه¬اي است كه يك ميدان الكتريكي قوي و چگال در نوك آن‌ها ايجاد شده كه اين ميدان با غلبه بر تابع كار فلز منجر به گسيل الكترون خواهد شد، بنابراين اين نوع منابع به تفنگ¬هاي گسيل ميداني شناخته مي‌شوند. ساخت اين منابع كه به دليل توليد پرتو الكترون بسيار باريك، بيش‌ترين رزولوشن تصوير را نتيجه مي‌دهند، در انحصار چند شركت محدود در دنياست و يكي از محصولات تكنولوژي بالا محسوب مي‌گردد. در كار پيش رو اولين تفنگ الكتروني گسيل ميداني در كشور ساخته شد و بر روي ميكروسكوپ الكتروني روبشي ساخت شركت Hitachi مدل S-4160 واقع در آزمايشگاه لايه نازك و نانوالكترونيك دانشگاه تهران نصب گرديد.