فشارسنج ها يكي از تجهيزات جانبي دستگاه هاي موجود در خط توليد ادوات الكترونيكي است. خلا سنج ها براي اندازه گيري محدوده فشاري زير 1 اتمسفر استفاده مي شوند. از مدل هاي مختلف اين فشارسنج ها براي اندازه گيري بازه هاي مختلف فشار استفاده مي شود. يكي از اين بازه ها فشارهاي بين 1 اتمسفر تا 1 ميلي تور است. مكانيزم هاي مختلفي براي اندازه گيري اين بازه از فشارها وجود دارد كه يكي از آنها، روش الكتروستاتيكي است كه با استفاده از اندازه گيري تغييرات خازن ها انجام مي شود. روش خازني به علت ساختار غشاء استفاده شده در اين گونه فشارسنج ها، اشكالاتي دارد كه طرح بكارگرفته در اين دستگاه اين مشكل را تا حد خوبي كاهش داده است.

\\\\\\"دستگاه تطبيق ماسك\\\\\\" براي تطبيق دادن ماسكها در مراحل مختلف ساخت ادوات MEMS يا نيمه هادي بكار مي¬رود. براي ساخت ادوات نيمه هادي يا ادوات MEMS نياز است تا نقش هاي مختلفي را بر روي ويفر به كرات ايجاد كرد. بعنوان مثال در پروسه ساخت غالب ادوات MEMS به بيش از 8 عدد ماسك نياز است. اين ماسكها در مراحل مختلفي بايد بر روي ويفر قرار گيرند. براي توليد محصولي كه بدرستي كار كند، لازم است محل ماسكها با دقت حدود چند ميكرون تنظيم شود. به كمك دستگاه تطبيق ماسك مي توان ماسكها را در مراحل مختلف ساخت ادوات نيمه هادي، بر روي يكديگر انطباق داد.