لیست اختراعات با مالکیت
مرکز پارك علم
1 عدد
زمينه فني اين اختراع شامل طراحي و ساخت نمونه¬اي جديد از لايه¬هاي نازك با ضخامت¬هاي ميكرومتري و نانومتري مي¬باشد. اين لايه¬ها داراي كاربردهاي بسيار متنوعي در ساخت سلولهاي خورشيدي، حسگرها، ترانزيستورها، ديودهاي گسيلنده نوري، لايه¬هاي جاذب¬هاي اشعه فرابنفش و انواع لنزهاي چشم پزشكي مي باشد. به طور كلي به پوششي كه روي سطح يك ماده تقريبا دو بعدي نشانده شده و باعث پيدايش خواص اپتيكي، الكتريكي و مكانيكي جديدي بر روي سطح مي¬گردد لايه نازك مي¬گويند. فناوري توليد لايه نازك از 300 سال پيش آغاز و به طور گسترده براي بيش از نيم قرن به شكل جدي مورد مطالعه قرار گرفت. در سالهاي اخير لايه هاي نازك به دليل خواص منحصربه فرد و ويژگيهاي خاصشان توجه بسياري از محققان را به خود جلب كرده و تحقيقات در اين زمينه رشد قابل ملاحظه¬اي داشته ¬است. نازكي، محدوديت اندازه كوانتومي، امكان ايجاد ساختار چندلايه¬اي، بزرگي نسبت سطح به حجم فيلمهاي نازك درمقايسه با نمونه¬هاي حجيم باعث شده اين محصولات كاربردهاي متنوعي در تمامي علوم و حوزه هاي صنعتي از جمله مهندسي الكترونيك و كاربردهاي نوري داشته باشند. بنابراين امروزه بخش بزرگي از زندگي مدرن را بايد مديون توسعه صنعت لايه نشاني و پوشش لايه¬هاي نازك دانست. تقاضاي قرن بيست و يكم براي توسعه و ساخت مواد جديد از جمله مواد نانوساختار و ابررسانا توسط انسان، هنوز در حال تكامل است. بدين منظور يك دستگاه لايه¬نشاني تركيبي با قابليت¬هاي جديد و با هدف توليد فيلم¬هاي نازك با كيفيت بالا طراحي و ساخته شد. اين دستگاه كوچك و قابل حمل بوده و با استفاده از تلفيق دو روش كم هزينه پوشش¬دهي چرخشي (كه در آن مقداري از محلول روي بستر ريخته و با سرعت بالا حول محور مركزي چرخيده مي¬شود) و پاششي (مقداري از محلول با سرعت و آهنگ مشخص روي بستر پاشيده مي¬شود) در حضور تابش همزمان امواج اولتراسونيك و حرارت دهي به زيرلايه، باعث ايجاد پوشش مناسب و همگن لايه با كيفيت بالا، براي كاربردهاي صنعتي مي¬شود. اعمال امواج اولتراسونيك از طريق وجود يك منبع توليد ارتعاش در بالا و عمود بر بستر، موجب همگن سازي بهتر محلول برروي بسترشده وكيفيت فيلم تهيه شده را به شدت بهبود مي¬بخشد. از طرف ديگر در صورت نياز، امكان اعمال همزمان دما تا 300 درجه سانتيگراد در زير لايه فراهم شده كه توسط آن عمل كلسيناسيون را مي¬توان انجام داد و نياز به كوره يا آون الكتريكي بعد از فرآيند لايه¬نشاني رفع مي¬گردد و ساختار لايه تهيه شده بهبود مي¬يابد. اين دستگاه باعث صرفه¬جويي و كاهش هدررفت ماده اوليه با اعمال همزمان فرآيند پوششي پاششي و چرخشي مي¬شود. همچنين اين روند نيازي به تنظيم خاص و پيچيده در فرآيند پوشش¬دهي پاششي را ندارد. ¬
موارد یافت شده: 1