اين اختراع روش ساخت تارگت سراميك باريم استرانسيم تيتانات با استوكيومتري دلخواه جهت استفاده در دستگاه هاي كندوپاش مغناطيسي فركانس راديويي مي باشد. روش ساخت تارگت باريم استرانسيم تيتانات با چگالي بالا و همچنين تارگت با چگالي بالا به دست آمده است كه در هنگام استفاده به عنوان تارگت كندوپاش هيچگونه تخليه الكتريكي ايجاد نمي كند و لايه هاي نازك ايجاد شده ثابت دي الكتريك بسيار بالايي دارند. محصول فراهم شده فرايندي جهت ساخت قطعات زينتر شده باريم استرانسيم تيتانات دوپ شده با ساير آلاينده ها ارايه مي دهد. اين فرايند عبارت است از مخلوط كردن استوكيومتري پودرهايي كه پس از كلسيناسيون نهايي، پودر باريم استرانسيم تيتانات تك فاز را ارائه دهد. پودر تهيه شده را مي توان با پودر آلاينده هاي مورد نظر مخلوط كرده يا به صورت خالص با عمليات فشرده سازي تك محوره در قالب مناسب تبديل به يك قرص كرد. پس از عمليات فشرده سازي عمليات پخت نهايي انجام ميگرددكه تارگت نهايي را نتيجه ميدهد.

روش و الگوريتمي براي اندازه گيري پروفايل غلظت نفوذ آلاينده در نيمه هاديهاي مختلف با استفاده از قلم زني الكتروشيميايي و اندازه گيري ظرفيت خازني پي‌درپي، به گونه‌اي طراحي شده است كه تنها با استفاده از پتانسيواستات‌هاي مجهز به ماژول امپدانس توانايي اندازه گيري غلظت نفوذ آلاينده تا عمق هاي كمتر از 100 نانومتر وجود خواهد داشت. در اين روش بر خلاف ساير روش هاي مبتني بر آناليز هاي شيميايي تنها پروفايل نفوذ ناخالصي‌هاي فعال الكتريكي اندازه گيري ميشود و لايه‌هاي مرده تاثيري بر روند آزمايش نميگذارند. اختراع حاضر نسبت به سوابق مشابه فراگيرتر است به طوري كه با استفاده از لامپ LED تعبيه شده با طول موج معين، انواع نيمه هاديهاي نوع n كه نيازمند پرتو براي ايجاد حامل هاي الكتريكي هستند، و همچنين نيمه هاديهاي نوع p با تنظيم ولتاژ بدون اعمال تابش، فرايند قلم زني انجام مي گيرد. ابزار استفاده شده در اين شيوه بسيار ارزان قيمت تر از نمونه هاي مشابه و با دقتي معادل تجهيزات سفارشي ساخته شده ميباشد. الگوريتم محاسبه پروفايل نيز براي يك روند پي در پي قلم زني طراحي شده است كه دقت پروفايل اندازه گيري شده و عمق نفوذ را بهبود مي بخشد.

سوپرآلياژهاي پايه نيكل به دليل مقاومت مكانيكي و خزشي خوب در دماي بالا به طور گسترده در اجزاي توربين‌ها مورد استفاده قرار مي‌گيرند، با اين حال به دليل مقاومت به اكسيداسيون پايين اين مواد، استفاده از پوشش‌هاي دما بالا امري ضروري است. پوشش‌هاي آلومينايدي يكي از پوشش‌هاي پركاربرد در دماي بالا بوده كه به روش‌هاي سمنتاسيون جعبه‌اي، دوغابي و لايه نشاني فاز بخار قابل اعمال است. به دليل كنترل پذيري پايين، ناخالصي بالاتر پوشش نهايي و عدم توانايي در پوشش‌دهي مجاري هواگذر پر‌ه‌ها در دو روش اول، روش لايه نشاني شيميايي فاز بخار جايگزين مناسبي براي اين روش‌ها مي‌باشد. با اين حال در روش‌ لايه نشاني فاز بخار معمول از گاز اسيدكلريدريك خشك براي توليد هاليد آلومينيوم استفاده مي‌شود كه علاوه بر گران بودن و مشكلات زيست‌محيطي در كشور امكان توليد آن وجود ندارد. در اين اختراع در ابتدا اين گاز از روند توليد پوشش حذف شد و يك توليد كننده خارجي براي توليد پيش ماده هاليد آلومينيوم ساخته شده است. اين مولد خارجي ازكوره‌اي منطقه‌اي با قابليت كنترل در نرخ توليد گاز هاليد آلومينيوم بهره گرفته و در نهايت با طراحي، ساخت، بهينه‌سازي و همگام سازي قسمت‌هاي مختلف، دستگاه نهايي براي اولين بار و بدون نمونه داخلي و خارجي در اين اختراع توصيف شده است.

فرآيند ساخت نانو ميله هاي باريم استرانسيم تيتانات سنتز شده به روش كندوپاش با استفاده از تكنيك لايه نشاني زاويه مورب كه به افزايش مساحت موثر سطح لايه فعال ساخته شده از باريم استرانسيم تيتانات كمك مي كند. افزايش مساحت موثر نيز باعث افزايش شدت خواصي از جمله جذب فيزيكي و شيميايي در لايه فعال مي شود كه مي تواند به توليد ادوات حسگري در حوزه شناسايي گاز و نور استفاده شود.