دستگاه لايه نشاني بخار شيميايي تركيبي حرارتي- سيم داغ مدوله زماني توان با توجه به نياز هاي مورد نظر در زمينه لايه نشاني و پوشش دهي از فاز بخار بر زيرلايه هاي متنوع طراحي و ساخته شده است. دانش اساسي طراحي و شبيه سازي و ساخت اين نوع از سيستم در حوزه فيزيك و شيمي مي باشد به طوري كه مجموعه دانش پايه ترموديناميك، خلا، انتقال حرارت و جرم، لايه نازك و غيره را دارا بوده و قابليت كاربرد در حوزه هاي متنوعي چون فيزيك لايه هاي نازك، مواد، نانوساختارها، شيمي، مهندسي شيمي و غيره را دارد. اين دستگاه با هدف افزايش كارايي ها و رفع معايب سيستم هاي منفرد سيم داغ (HFCVD) و حرارتي (TCVD) و متعاقبا افزايش بهره وري با استفاده از اعمال توان دوره اي در طي زمان توسط منبع تغذيه، ساخته شده است. بدينوسيله قابليت و كارايي اين دستگاه بواسطه حذف سيستم گرمايش مجزاي، افزايش سطح مقطع برخوردي جهت توليد گونه هاي فعال مورد نياز، قابليت همزماني انجام فعاليت هاي دو نوع سيستم TCVD و HFCVD، چالاكي بالاتر و هزينه هاي بسيار كمتر از مزاياي خاص اين دستگاه است.

منبع تغذيه سيستم پوشش‌دهي از فاز بخار شيميايي سيم داغ، به صورت خاص براي سيستم پوشش‌دهي از فاز بخار شيميايي سيم داغ (HWCVD)ساخته شده است كه اساسا دانش اين نوع سيستم در رشته فيزيك گرايش اتمي مي‌باشد اما از زمينه هاي فني الكترونيك و برق نيز بهره برده شده است. مشكل اصلي و اساسي در زمينه منبع‌هاي تغذيه موجود براي دستگاه‌هاي پوشش‌دهي، منحصر به فرد بودن هر نوع سيستم پوشش‌دهي متناسب با نوع و طراحي خاص خودش مي‌باشد. اين اختراع، قادر به اعمال توان الكتريكي به يك سيستم پوشش‌دهي HWCVD، بوده و مقدار توان اعمالي خود را به درستي و متناسب با جنس و شرايط فيزيكي مصرف كننده كنترل مي‌نمايد. اين دستگاه توان حداكثري 10 كيلووات را تامين مي نمايد و داراي صفحه نمايشگر لمسي و قابليت برنامه ريزي به صورت دلخواه مي باشد. اين اختراع عملا قابليت راه اندازي سيستم پوشش دهي HWCVD را به شكل بسيار مناسبي ارائه داده است و در اصل بدون هيچ گونه مهندسي معكوس يا الگوبرداري و غيره از هيچ نوع منبع تغذيه ديگري اعم از ساير سيستم‌هاي پوشش دهي و يا هر نوع منبع تغذيه ديگري، توانسته است به خوبي وظايف محوله را انجام دهد.

محفظه خلا دما بالاي دستگاه پوشش دهي الماس HWCVD جهت فراهم نمودن بستر لازم در فرآيند پوشش دهي و لايه نشاني در محيط خلا به كار مي رود. اين محفظه قادر به تامين شرايط پايدار و ايمن براي كار بوده و از جنس استيل طراحي و ساخته شده است. اين محفظه دوجداره و با طراح مناسبي است كه قادر به تحمل دماهاي بالا تا حدود 900 درجه سانتيگراد بوده و از طرفي ميزان خلا تا محدوده خلا بالا (5-10 تور) را فراهم مي نمايد.

سيستم رسوب گذاري بخار شيميايي به كمك كوره حرارتي الكتريكي بار آكتور كوارتر