لیست اختراعات با مالکیت
بهرنگ صبر لوي كليان
1 عدد
فرايندهاي پرداخت سطحي در ساخت ادوات نيمه هادي و قطعات اپتوالكترونيكي داراي اهميت ويژه اي هستند كه از جمله آنها مي توان به فرايندهاي سايش و پوليش كاري اشاره كرد. كيفيت انجام اين فرايندها بر روي فلز مس نقش بسزايي در توليد چاهكهاي گرمايي دارند. با توجه به اهميت ساخت و توليد بهينه چاهكهاي گرمايي از جنس فلز مس، فرايند ديگري مورد نياز است تا بتوان عمليات پرداخت نهايي بر روي فلز مس را با كيفيت مطلوب تري انجام داد. در همين راستا فرايند پوليش مياني معرفي شده است تا به كمك آن بتوان عمل بهينه سازي سطح و ويژگيهاي سطحي را انجام داد. در كنار فرايند سايش كه هدف از آن كاهش ضخامت فلز مس است و همچنين فرايند پوليش كاري كه با هدف صيقل دهي و آيينه اي كردن سطح انجام مي گيرد فرايند پوليش مياني به منظور ايجاد سطحي با سختي كمتر و در نتيجه نرمي زياد و همين طور سطحي با تختي و همواري ايده ال در بين دو فرايند مذكور قابل انجام است.
موارد یافت شده: 1