با توجه به اهميت كاربرد لايه هاي نازك در فناوري نانو و استفاده از خواص الكتريكي و اپتيكي و... لايه هاي مذكور در مقياس صنعتي ميزان اكسداسيون اين لايه ها در خور توجه مي باشد. در اين دستگاه محفظه خلأ كه مانع اكسيد شدن نمونه ها و يا واكنش با گاز هاي موجود در هوا مي شود تعبيه شده است. اين قابليت همراه با اندازه گيري در دماهاي زير صفر ودماهاي بالا از مزيت هاي منحصربه فرد اين دستگاه مي باشد كه مي توان با اعمال ولتاژ وجريان به نمونه ها مقاومت لايه ها را به دست مي آوريم. يكي از با اهميت ترين مسائل در بررسي خواص الكتريكي لايه هاي نازك در ابعاد نانو عدم آسيب رساندن به اين سطوح مي باشد كه با استفاده از فنرهاي انعطاف پذير در اين دستگاه موجب شده اين مشكل به حداقل ممكن برسد.با توجه به تغيير مقاومت لايه ها در دماهاي مختلف مي توانيم لايه هاي نازك عايق ،نيم رسانا ،رسانا در ابعاد نانومتر را از هم تميز دهيم.