لیست اختراعات با مالکیت
سيد وحيد كشميري
4 عدد
در فرايند لايه نشاني در خلا، اندازه گيري آهنگ جايگذاري لايه در حين لايه نشاني و ضخامت كل لايه پس از اتمام فرايند، ضروري مي باشد. يك روش متداول براي اندزه گيري آهنگ جايگذاري و ضخامت لايه در دستگاه هاي تبخير حرارتي و اسپاترينگ استفاده از ضخامت سنج بلور كوارتز است. اختراع معرفي شده در اين گزارش، در مورد طراحي و ساخت دستگاه ضخامت سنج بلور كوارتز و اجزاء مكانيكي و الكترونيكي مربوطه مي باشد. اين دستگاه در قالب دو طرح تحقيقاتي در دانشگاه فردوسي مشهد طراحي و ساخته شده است. نرم افزار مربوط به فصل مشترك دستگاه با كامپيوتر نيز نوشته شده است. اين دستگاه داراي قابليت هاي متعدد و قادر به مانيتور كردن آهنگ جايگذاري و اندازه گيري ضخامت لايه براي دو لايه نشاني مجزا، به طور همزمان مي باشد. با توجه به مشخصات فني ارائه شده در اين گزارش، اين كار براي اولين بار در كشور انجام شده است.
موارد یافت شده: 4