نانو اكسيدهاي سراميكي مانند نانو الومينا ، نانوتيتانيا و ... توسط دستگاه اختراع شده و با پيش ماده هاي ارزان مانند سولفات فلزات و يا نيترات و كلريد فلزات توليد مي شود. محلول حاوي نمكهاي فلزي به درون مشعلي كه بيش از 2000 درجه سانتي گراد دما دارد اسپري مي شود. قلب دستگاه راكتوري است كه مشعل در آن قرار دارد. در اين دما حلال محلول اسپري شده تبخير مي شود و نمك فلزي با ابعاد نانو پديد مي آيد. سپس نانو نمك فلزي نيز تجزيه و نانو ذره اكسيدي حاصل مي گردد. نانو ذرات اكسيدي به همراه گازهاي ناشي از احتراق و تبخير به دو سيكلون متوالي هدايت مي شود تا در آنجا نانو ذرات اكسيدي از جريان گازها جدا و ته نشين گردد.