محفظه خلا شيشه اي در بسياري از سيستم هاي خلا بالا به كار برده مي شود. به ويژه در كاربردهاي تحقيقاتي در مقياس آزمايشگاهي، استفاده از آن متداول مي باشد. محفظه خلا شيشه اي معرفي شده در اين گزارش براي سيستم هاي خلا بالا (تا فشارهاي در حدود 10 به توان 7- تا 10 به توان 8- ميلي بار طراحي و ساخته شده است. محفظه خلا شيشه اي براي سيستم هاي خلا بالا در قالب يك طرح تحقيقاتي در دانشگاه فردوسي مشهد و پژوهشكده علوم و صنايع غذايي خراسان طراحي و ساخته شده است. قطعات جانبي آن (صفحه بالايي با دريچه هاي دسترسي و ال رينگ هاي مورد نياز) نيز طراحي و ساخته شده است. قطعات جانبي آن (صفحه بالايي با دريچه هاي دسترسي و ال رينگ هاي مورد نياز) نيز طراحي و ساخته شده اند. هم چنين، محاسبات فني مربوطه توسط گروه فوق الذكر انجام شده و نقشه هاي اجرايي آن در اختيار مي باشد. با توجه به مشخصات فني ارائه شده در اين گزارش، اين كار براي اولين بار در كشور انجام شده است. با توجه به اينكه فناوري خلا بالا به عنوان يك فناوري مادر محسوب شده و نقش مهمي را در بسيار از زمينه هاي صنعتي و تحقيقاتي (نظير ميكروالكترونيك و نانو فناوري) بر عهده دارد، ساخت تجهيزات مرتبط با فناوري خلا بالا را مي توان به عنوان قدم موثري در مسير توسعه علمي و صنعتي كشور در نظر گرفت.

دستگاه تبخير حرارتي در خلا به طور گسترده براي لايه نشاني مواد مختلف و ساخت انواع قطعات لايه نازك در مقياس توليد انبوه و در كارهاي تحقيقاتي مورد استفاده قرار مي گيرد. بخش هاي اساسي اين دستگاه شامل اجزاء زير است: - سيستم خلاء بالا (براي ايجاد محيط خلا در داخل محفظه خلا و حفظ آن در ضمن فرايند لايه نشاني - منبع تبخيري (قايق تبخيري با گرمادهي مقاومتي در دستگاه هاي آزمايشگاهي و يا منبع ستون الكترون و يا منبع تبخيري RF در دستگاه هاي صنعتي - منبع تغذيه الكتريكي با كنترل دستي و يا الكترونيكي براي منبع تبخيري (منبع جريان بالا براي قايق تبخيري منبع ولتاژ بالا براي منبع ستون الكترون و يا منبع فركانس بالا براي منبع RF - نگهدارنده و گرماده زير لايه ها اختراع معرفي شده در اين گزارش در مورد طراحي و ساخت مجموعه قطعات يك دستگاه تبخير حرارتي در خلا با منبع تبخيري مقاومتي منبع تغذيه الكتريكي با كنترل دستي (و قابليت كنترل الكترونيكي) و نگهدارنده و گرماده زير لايه ها مي باشد. اين دستگاه در قالب چند طرح تحقيقاتي در دانشگاه فردوسي مشهد و پارك علم و فناوري خراسان طراحي و ساخته شده و در مدت حدود 12 سال با فعاليت هاي بهينه سازي گسترده تكامل پيدا كرده است. در حال حاضر مجموعه قطعات مربوط به اين دستگاه قابل توليد در مقياس انبوه مي باشند. تمام محاسبات فني و تحليل هاي كامپيوتري مربوطه توسط گروه فوق الذكر انجام شده و نقشه هاي اجرايي و فرايند توليد صنعتي اين دستگاه تهيه و مدون شده است. با توجه به مشخصات فني ارائه شده در اين گزارش اين كار براي اولين بار در كشور انجام شده است.