‏نانوذرات سيليكا با تجزيه گرمايي سيليكاژل HF256 رفلاكس شده در اندازه هاي كمتر از 55 ميكرومتر (90 درصد كمتر از 55 ميكرومتر) در مجاورت اكسيژن در طول 3 ساعت در دماهاي 600 ، 700، 800 و 900 براي تمام ذرات تهيه مي شود كه تمام نمونه هاي گرما داده شده به نانوذرات سيليكا تبديل مي شوند. نتايج SEM اندازه متوسط ذرات نانوسيليكا را زير 100 nm نشان مي دهد اندازه نمونه گرما داده شده در مجاورت اكسيژن در دماي 700 درجه سانتيگراد براي 2 ساعت كمتر از 50 nm را نشان مي دهد.