خلاصه اختراع :

در دستگاه پلاسمای كانونی، تخلیه اصلی در داخل یك محفظه از جنس استیل رخ می‌دهد. الكترود آند دستگاه، داخل این محفظه قرار می‌گیردوالكترود كاتد بدنه استوانه ای و درب محفظه می باشد.تخلیه هوای داخل این محفظه تا فشار‌های میكروبارتوسط پمپ خلاء مناسب صورت می گیرد و سپس تزریق گاز مورد نظر به داخل محفظه توسط سیستم تزریق گاز انجام می‌شود. منبع ذخیره انرژی دستگاه، یك یاچهار بانك خازنی می‌باشد. برای تخلیه انرژی خازن به داخل محفظه اصلی معمولا از یك كلید توان بالا از نوع گاف جرقه یا اسپارك گپ استفاده می‌شود. شارژ كردن خازن بوسیله یك سیستم شارژ كننده انجام می‌شود و پالس لازم برای شروع تخلیه توسط مدار تریگر تامین می‌شود. در مجموع می‌توان گفت كه یك دستگاه پلاسمای كانونی از سه قسمت اصلی تشكیل می‌شود : 1)عناصر مكانیكی كه شامل محفظه تخلیه، سیستم خلاء و تزریق گاز می‌باشند. 2)عناصر الكتریكی كه شامل بانك خازنی ، دستگاه شارژ، تریگر و سوییچ اسپارك گپ می‌باشند. 3)ابزارهای اندازه گیری پارامترهای الكتریكی و پرتوهای خروجی دستگاه.