فيلم نازك Tio2 روي زير لايه شيشه هاي سودالايم در دماي زير 200 درجه ي سانتي گراد و به وسيله كندر پاش يوني مگنتروني واكنشي DC رسوب دهي مي شود. لايه اي از Zno به عنوان لايه حافظ مياني استفاده مي شود. لايه نشاني در تركيبي از گازهاي آرگون و اكسيژن در فشار 1Pa با فشار ثابت 2Pa اكسيژن انجام يم شود ضخامت لايه هاي zno,Tio2 به ترتيب 1000 و 80 نانو متر انتخاب شده و نمونه ها در دماي 400 درجه سانتي گراد عمليات حرارتي مي شوند. ساختار و مورفولوژي نمونه هاي لايه نشاني شده با پراش XRD)X-ray و ميكروسكوپ الكتروني روبشي (SEM) مورد بررسي قرار مي گيرد. شفافيت لايه ها به وسيله طيف سنج مرئي - ماوراءبنفش (UV-vis Spectroscopy) اندازه گيري مي شود. فعاليت فوتوكاتاليستي نمونه ها با اندازه گيري ميزان تجزيه ي propanol - 2 بررسي مي شود. ساختار فيلم هاي عمليات حرارتي شده آناتاز بوده كه عمده ترين نقش فوتوكاتاليستي را ايفا مي كند. اندازه دانه هاي سطح لايه نازك Tio2 بعد عمليات حرارتي حدود 25 الي 35 نانومتر محاسبه شد. به كار بردن لايه zno به عنوان فيلم محافظ مياني خواص فوتوكاتاليستي را بهبود مي بخشد. با بكار بردن روشSputtering براي لايه نشاني zno و Tio2 مشكل پودري شدن لايه ها و حضور ترك در سطوج حل شده و پوشش ها طول عمر بالاتري را بدست آوردند و براي جلوگيري از نفوذ يون هاي مضر به داخل Tio2 از يك لايه محافظ مياني zno و به ضخامت 80 نانومتر استفاده شده است. پوشش هاي ايجاد شده به اين روش داراي خواص خود تميز شوندگي آنتي باكتريال صدمه و تصفيه كننده ي آب و هوا را دارند.