در دستگاه پلاسماي كانوني، تخليه اصلي در داخل يك محفظه از جنس استيل رخ مي‌دهد. الكترود آند دستگاه، داخل اين محفظه قرار مي‌گيردوالكترود كاتد بدنه استوانه اي و درب محفظه مي باشد.تخليه هواي داخل اين محفظه تا فشار‌هاي ميكروبارتوسط پمپ خلاء مناسب صورت مي گيرد و سپس تزريق گاز مورد نظر به داخل محفظه توسط سيستم تزريق گاز انجام مي‌شود. منبع ذخيره انرژي دستگاه، يك ياچهار بانك خازني مي‌باشد. براي تخليه انرژي خازن به داخل محفظه اصلي معمولا از يك كليد توان بالا از نوع گاف جرقه يا اسپارك گپ استفاده مي‌شود. شارژ كردن خازن بوسيله يك سيستم شارژ كننده انجام مي‌شود و پالس لازم براي شروع تخليه توسط مدار تريگر تامين مي‌شود. در مجموع مي‌توان گفت كه يك دستگاه پلاسماي كانوني از سه قسمت اصلي تشكيل مي‌شود : 1)عناصر مكانيكي كه شامل محفظه تخليه، سيستم خلاء و تزريق گاز مي‌باشند. 2)عناصر الكتريكي كه شامل بانك خازني ، دستگاه شارژ، تريگر و سوييچ اسپارك گپ مي‌باشند. 3)ابزارهاي اندازه گيري پارامترهاي الكتريكي و پرتوهاي خروجي دستگاه.