اندازه گير خلا پيراني براي اندازه گيري فشار داخل محفظه خلا از اتمسفر تا حدود 10 به توان منفي 2 mbar مورد استفاده قرار مي گيرد اين دستگاه در اغلب سيستم هاي خلا به كار برده مي شود. اختراع معرفي شده در اين گزارش، در مورد طراحي و ساخت دستگاه اندازه گير خلا پيراني ديجيتالي سازگار با سيستم مودباس براي اندازه گيري خلا در گستره اتمسفر تا حدود 10 به توان منفي 2 ميلي بار است، كه قابليت ارتباط با سيستم PLC و كنترل توسط برنامه نرم افزاري را دارا مي باشد. اين دستگاه در قالب دو طرح تحقيقاتي در دانشگاه فردوسي مشهد طراحي و ساخته شده است. با توجه به مشخصات فني ارائه شده در اين گزارش ، اين كار براي اولين بار در كشور انجام شده است.

در فرايند لايه نشاني در خلا، اندازه گيري آهنگ جايگذاري لايه در حين لايه نشاني و ضخامت كل لايه پس از اتمام فرايند، ضروري مي باشد. يك روش متداول براي اندزه گيري آهنگ جايگذاري و ضخامت لايه در دستگاه هاي تبخير حرارتي و اسپاترينگ استفاده از ضخامت سنج بلور كوارتز است. اختراع معرفي شده در اين گزارش، در مورد طراحي و ساخت دستگاه ضخامت سنج بلور كوارتز و اجزاء مكانيكي و الكترونيكي مربوطه مي باشد. اين دستگاه در قالب دو طرح تحقيقاتي در دانشگاه فردوسي مشهد طراحي و ساخته شده است. نرم افزار مربوط به فصل مشترك دستگاه با كامپيوتر نيز نوشته شده است. اين دستگاه داراي قابليت هاي متعدد و قادر به مانيتور كردن آهنگ جايگذاري و اندازه گيري ضخامت لايه براي دو لايه نشاني مجزا، به طور همزمان مي باشد. با توجه به مشخصات فني ارائه شده در اين گزارش، اين كار براي اولين بار در كشور انجام شده است.

دستگاه تبخير حرارتي در خلا به طور گسترده براي لايه نشاني مواد مختلف و ساخت انواع قطعات لايه نازك در مقياس توليد انبوه و در كارهاي تحقيقاتي مورد استفاده قرار مي گيرد. بخش هاي اساسي اين دستگاه شامل اجزاء زير است: - سيستم خلاء بالا (براي ايجاد محيط خلا در داخل محفظه خلا و حفظ آن در ضمن فرايند لايه نشاني - منبع تبخيري (قايق تبخيري با گرمادهي مقاومتي در دستگاه هاي آزمايشگاهي و يا منبع ستون الكترون و يا منبع تبخيري RF در دستگاه هاي صنعتي - منبع تغذيه الكتريكي با كنترل دستي و يا الكترونيكي براي منبع تبخيري (منبع جريان بالا براي قايق تبخيري منبع ولتاژ بالا براي منبع ستون الكترون و يا منبع فركانس بالا براي منبع RF - نگهدارنده و گرماده زير لايه ها اختراع معرفي شده در اين گزارش در مورد طراحي و ساخت مجموعه قطعات يك دستگاه تبخير حرارتي در خلا با منبع تبخيري مقاومتي منبع تغذيه الكتريكي با كنترل دستي (و قابليت كنترل الكترونيكي) و نگهدارنده و گرماده زير لايه ها مي باشد. اين دستگاه در قالب چند طرح تحقيقاتي در دانشگاه فردوسي مشهد و پارك علم و فناوري خراسان طراحي و ساخته شده و در مدت حدود 12 سال با فعاليت هاي بهينه سازي گسترده تكامل پيدا كرده است. در حال حاضر مجموعه قطعات مربوط به اين دستگاه قابل توليد در مقياس انبوه مي باشند. تمام محاسبات فني و تحليل هاي كامپيوتري مربوطه توسط گروه فوق الذكر انجام شده و نقشه هاي اجرايي و فرايند توليد صنعتي اين دستگاه تهيه و مدون شده است. با توجه به مشخصات فني ارائه شده در اين گزارش اين كار براي اولين بار در كشور انجام شده است.