ایجاد پوشش نانو كامپوزیتی DLC/D بر روی قطعات صنعتی با استفاده از فرآیند شیمیایی از فاز بخار به كمك پلاسما

خلاصه اختراع :

در این اختراع، پوشش نانوساختار DLC/D با استفاده از فرایند رسوب گذاری شیمیایی از فاز بخار با بهره گیری از پلاسما (PACVD) بر روی قطعات صنعتی بهره گرفته شد. برای دست یابی به خواص مطلوب پوشش، قبل از عملیات لایه نشانی، بستر آزمایش با تركیب گازی مناسب از آرگون، نیتروژن و هیدروژن مورد عملیات نیتروژن دهی پلاسمایی قرار گرفت. برای ایجاد پوشش در این اختراع، علاوه برگازهای ورودی (هیدروژن، آرگون) از گاز متان استفاده شد. در این فرایند بعد از ایجاد پلاسما انتظار میرود كه مواد اولیه موجود در محفظه تجزیه شده و یون های موردنظر بر روی كاتد (كه محل قرارگیری قطعه می باشد) قرار گیرند. با گذشت زمان پوشش نانو كامپوزیتی DLC/D تشكیل شد. در این فرایند درصد چرخه كار بین 30 تا 80 درصد، ولتاژ اعمالی بین 450 تا 650 ولت، دمای لایه نشانی بین 100 تا 200 درجه سانتیگراد، زمان لایه نشانی بین 1 تا 5 ساعت، فركانس دستگاه بین 6 تا 12 كیلوهرتز، فشار محفظه بین 1 تا 100 پاسكال در نظر گرفته شد. پوشش نهایی بدست آمده دارای ساختار با اندازه دانه بین 20 تا 50 نانومتر و ضخامت آن بین 5/0 تا 5/2 میكرومتر می باشد.