لیست اختراعات سيدذبيح اله راه چمني
يكي از پارامترهاي مهم براي حصول به لايه هاي نازك با ساختارهاي نانو، ايجاد تواناي كنترل دقيق زاويه قطبي و چرخش سرعت دوران زيرلايه در حين فرايند لايه نشاني مي باشد. در سيستم جديدي كه توسط گروه تحقيقاتي آزمايشگاه لايه نازك دانشكده فيزيك دانشگاه سمنان طراحي گرديده اين امكان براي ما بوجود آمده تا بتوانيم زاويه زيرلايه با چشمه و چرخش زيرلايه به صورت دقيق كنترل كنيم. قابليت كنترل دور و تغيير زاويه از طريق نرم افزاري كه توسط كامپيوتر از بيرون محفظه خلاء كنترل مي شود ايجاد شده است. در سيستم هاي گذشته براي تغييز زاويه نياز به باز و بسته كردن محفظه خلاء داشتيم كه خلوص نمونه هاي ساخته شده را به شدت تغيير مي داد. ضمناً امكان چرخش ساعتگرد و پادساعتگرد براي زيرلايه در سيستم هاي گذشته وجود نداشت. نرم افزار متصل به كامپيوتر قادر است به كنترل دور فرمان دهد تا زيرلايه در زواياي مختلف و با سرعتهاي متفاوت در سيستم و در زمان لايه نشاني چرخد. اين توانايي دروان متناوب پيوسته و گسسته زير لايه حول محور عمود بر سطح زير لايه، امكان دست يابي به ساختارهايي زيگزال و مارپيچي و ... جهت مهندسي مشخصات ساختاري نانوساختارها را ايجاد خواهد كرد.
موارد یافت شده: 1