لايه هاي نازك Tio2 براي ايجاد حسگر مينياتوري زماني ساخته مي شود كه سل پايداري تهيه گردد. براي سنتز سل پايدار Tio2 پيش ماده ها در محيط آبي با نسب استوكيومتري مخلوط شدند و سل پايدار و شفافي به دست آمد. از جمله عوامل موثر در ويژگي هاي لايه نازك و سل پايدار به عامل PH دماي كلسيناسيون لايه و همچنين ضخامت لايه نشانده شده مي توان اشاره كرد. با تغيير اين پارامترها مي توان لايه نازك مناسب براي ساخت حسگر مورد نظر را به دست آورد. لايه نازك Tio2 ساخته شده در اين اختراع داراي ضخامت 189 نانومتر در PH برابر 2/5 براي سل Tio2 با 5 بار لايه نشاني بر سطح الكترود شفاف ITo و دماي كلسيناسيون لايه برابر 550c مي باشد.