لایه نشانی پوشش فلزی تیتانیوم بوسیله روش رسوبدهی شیمیایی از فاز بخار به كمك پلاسما

خلاصه اختراع :

فلز تیتانیوم یك فلز با خصوصیات مطلوب شیمیایی و مكانیكی در مهندسی است. این فلز به صورت پوشش نیز برای مصارف بسیاری استفاده می گردد. از روشهای پوششدهی این فلز می توان به روشهای رسوبدهی از فاز بخار فیزیكی اشاره نمود. در این اختراع از برای اولین بار در ایران از روش رسوبدهی از فاز بخار شیمیایی استفده شده است. انجام این كار توسط این روش دارای مزیات و موانع خاص خود است. چون در روش های شیمیایی از خلا پایین تر ی نسبت به روشهای فیزیكی استفاده می شود باید به كمك تنظیم صحیح پارامترهای پوششدهی آلودگی های پوشش تیتانیوم را به حداقل رساند و از حل شدن اكسیژن با پوشش تیتانیوم جلوگیری كرد. حل شدن گازهایی مانند اكسیژن و كلر در پوشش فلزی تیتانیوم باعث از بین رفتن خصوصیات فلزی این پوشش مانند بالا بودن چكش خواری و چقرمگی شكست می شود. برای شناخت خصوصیات این پوشش از روشهای پراش اشعه ایكس، میكروسكوپ نیروی اتمی، میكروسكوپ الكترونی روبشی تابش میدان (AFM) و آنالیز توزیع انرژی اشعه ایكس (EDAX) بهره برده شد. رفتار خوردگی نمونه ها توسط آزمایش های الكتروشیمیایی خوردگی شامل آزمایش پلاریزاسیون و امپدانس در محلول 5/0 مولار نمك طعام و 5/. مولار اسید سولفوریك سنجیده شد.