لیست اختراعات با مالکیت
جهاد دانشگاهي جهاددانشگاهي صنعتي شريف
11 عدد
كاتد كندوپاش با ميدان مغناطيسي مهار شده از لحاظ كمي و كيفي نسبت به كاتد پيشين بهبود يافته است كاتد قبلي بعلت استفاده از چينش عمودي آهنرباها و مهار نشدن مگنترون آن، خطوط ميدان مغناطيسي لازم براي عملكرد صحيح كاتد را ايجاد نمي كرد. همچنين مقدار القاء مغناطيسي پايين بود و بنابراين توان دستگاه و نرخ لايه نشاني در حد لازم نبود. مطالعه ي حركت ذرات باردار پلاسما در ميدان هاي متعامد الكتريكي و مغناطيسي نشان مي دهد كه، بردار سرعت ذرات باردار كه سرعت سوقي يا رانشي ناميده مي شود با معادله ي ?? داده مي شود كه بر هر دو اين بردارها عمود است. بنابراين با توجه به اينكه در اين سامانه، بردار ميدان الكتريكي ؟ بر سطح هدف عمود است، ميدان مغناطيسي ؟ بايد موازي سطح كاتد باشد تا خوردگي سطح هدف يكنواخت باشد و هر چه عرض حوزه توازي بيشتر باشد بازده هدف بيشتر خواهد شد. در اين اختراع ابتدا بوسيله نرم افزار رايانه اي، آرايش مناسب قطعات مگنترون و نيز مقدار القاء مغناطيسي بهينه تعيين و سپس كاتد جديد طراحي و ساخته شده است. آزمايش هاي متعدد افزايش كميتهاي مشخصه ي اين اختراع را اثبات نموده است. اين دستگاه براي اسخت لايه هاي نازك به ضخامت چند آنگستروم تا چندميكرون كه كاربردهاي زيادي در پژوهش و صنعت دارند مانند ميكروالكترونيك، اپتيك، ليزر، فناوري نانو و ... بكار مي رود.
موارد یافت شده: 11